您的当前位置:首页 > 知识 > 重大突破!芯片光刻胶关键技术被攻克:原材料全部国产 配方全自主设计 正文
时间:2024-12-23 12:40:17 来源:网络整理 编辑:知识
快科技10月25日消息,据华中科技大学官微消息,近日,该校武汉光电国家研究中心团队,在国内率先攻克合成光刻胶所需的原料和配方,助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。据介绍,其研发的T150A光刻胶系列产
快科技10月25日消息,重大自主据华中科技大学官微消息,突破近日,芯片该校武汉光电国家研究中心团队,光刻攻克在国内率先攻克合成光刻胶所需的胶关键技原料和配方,助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。术被设计
据介绍,原材其研发的料全T150A光刻胶系列产品,已通过半导体工艺量产验证,部国实现了原材料全部国产,产配配方全自主设计,重大自主有望开创国内半导体光刻制造新局面。突破
公开资料显示,芯片光刻胶是光刻攻克一种感光材料,用于芯片制造的胶关键技光刻环节,工作原理类似于照相机的胶卷曝光。芯片制造时,会在晶圆上涂上光刻胶,在掩膜版上绘制好电路图。
当光线透过掩膜版照射到光刻胶上会发生曝光,经过一系列处理后,晶圆上就会得到所需的电路图。
由于光刻胶是芯片制造的关键材料,国外企业对其原料和配方高度保密,目前我国所使用的光刻胶九成以上依赖进口。
武汉光电国家研究中心团队研发的这款半导体专用光刻胶对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。
相较于国外同系列某产品,T150A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm,且工艺宽容度更大、稳定性更高、留膜率更优,其对刻蚀工艺表现更好,通过验证发现T150A中密集图形经过刻蚀,下层介质的侧壁垂直度表现优异。
团队负责人表示:“以光刻技术的分子基础研究和原材料的开发为起点,最终获得具有自主知识产权的配方技术,这只是个开始。我们团队还会发展一系列应用于不同场景下的KrF与ArF光刻胶,致力于突破国外卡脖子关键技术,为国内相关产业带来更多惊喜。”
阿里产业布局再落多子 控股菜鸟网络至51%2024-12-23 12:26
英伟达高管解读Q3财报:全力推进Blackwell生产 本季度交付量将超此前预估2024-12-23 11:41
711回应门店停售农夫山泉:个人行为,不代表总部立场2024-12-23 11:41
网易宣布成立养鸡场 丁磊终结者2河田飞鸡养鸡场启动?2024-12-23 11:29
苹果史上首个新机爆冷日:iPhone8黄牛价破发2024-12-23 11:20
马斯克将创办大学 计划免学费 课程重点是数学、科学等2024-12-23 10:43
行业首创双模热泵加持!小米SU7冬季开空调不怕费电2024-12-23 10:40
魏牌蓝山开启第四次OTA ,Coffee OS 全面焕新2024-12-23 10:34
交通部:推进“互联网+交通运输”模式创新2024-12-23 10:33
孟羽童个人简介是前500强董事长秘书2024-12-23 10:17
秦山核电国内最大电力5G专网上线 覆盖面积超过20平方公里2024-12-23 12:27
延迟退休年龄2018表:男女职工渐进式退休年龄新规2022年实施2024-12-23 12:12
马斯克将创办大学 计划免学费 课程重点是数学、科学等2024-12-23 11:34
俄妹COS《寂静岭2RE》玛利亚:身材超越原版2024-12-23 11:29
北京共有产权房主供60平米以上 装修5年内禁拆2024-12-23 11:27
马斯克将创办大学 计划免学费 课程重点是数学、科学等2024-12-23 11:26
荣耀时刻|品牌价值185亿 国贸地产获评中国房企品牌价值第21名2024-12-23 11:13
雷军真去拧螺丝了 声称自己经常前往工厂2024-12-23 10:52
中粮资本混改项目简介 国调基金参与中粮资本混改2024-12-23 10:12
711回应门店停售农夫山泉:个人行为,不代表总部立场2024-12-23 09:54